熱眼螃觀丨湖南為何請他當“智囊”？這位74歲科學家的矽谷傳奇
10月19日，湖南省第一屆科技創新戰略諮詢專家委員會成立4個月後，這份湖南“最強大腦”天團名單上又增加了一個半導體專家的名字。
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(尹志堯 /羅新國 攝)
他叫尹志堯，中微半導體裝置（上海）有限公司董事長兼執行長，1944年出生於北京，1967年畢業於中國科技大學化學物理系，1984年獲美國加州大學洛杉磯分校(UCLA)物理化學博士。
19日上午，湖南省委書記杜家毫專門與他進行了座談，並向他頒發了省科技創新戰略諮詢專家委員會委員聘書。在座談中，這位年已74歲的半導體裝置專家說，願深化與湖南政府和企業間交流合作，攜手推動湖南積體電路高階裝置自主研製開發。
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尹老是半導體領域的一個傳奇式的人物，是幾代等離子體刻蝕技術及裝置的主要發明人和工業化應用的推動者，在技術及產品的開發中獲得過200多項各國專利和86項美國專利。
2004年回國創業，經過十四年的鑽研打拼，終於讓中微成為國內半導體高階裝置的領先公司，國際半導體裝置產業的新星。他於2018年獲評“感動上海年度人物”，還曾獲評全國十大新領軍人物、上海市政府白玉蘭紀念獎、浦東經濟人物十強等。
下面，觀潮君就來和大家說說這位科學家的傳奇故事。
“學霸”尹志堯
1944年，尹志堯出生在北平一個愛國世家。他的曾外祖父是清末革命黨人，祖父是庚子賠款留學生，是開拓吉林四平街，支援本土工商業發展來對抗日本經濟侵略的政治家。父親是留日回國報效的電化學專家。
中學就讀於久負盛名的北京四中，曾任少先隊大隊委員會主席，共青團委委員，獲得學習優良金質獎章。本科畢業於天才雲集的中科大。大學畢業後，尹志堯在蘭州煉油廠和中科院系統工作了近十年。1978年，“不安分”的他選擇繼續深造，考入北京大學化學系。
在北大，尹志堯目睹了當時國內最先進的計算機，記憶體雖然只有128K，卻佔了兩棟大樓，裡面裝著數不清的電子管。
當年尹志堯可能沒想到，自己的人生將會從此與半導體緊密交織，難以分離。
40年來，從電子管計算機到納米級的晶片，人類已經將微觀加工的面積縮小了1萬億倍，尹志堯有幸參與了這一過程。
1980年，他獲北大化學系碩士學位，後在親戚幫助下，到加州大學洛杉磯分校攻讀博士學位。僅僅三年半，他就拿到物理化學博士學位。用現在的話說，他絕對是一名名副其實的學霸。
此後20年裡，尹志堯一直在矽谷工作，從工程師到公司高管，再到裝置領域的領跑者。先後在英特爾、泛林、應用材料等半導體行業的國際巨頭工作。歸國前，他已在全球最大的半導體裝置百億公司——應用材料做到總公司副總裁，等離子體刻蝕事業群總經理。其領導和參與開發的刻蝕裝置，幾乎佔到了全世界的一半。
為中國“解套”
60歲準備退休的那年，尹志堯做了一個讓人意外的決定，回到中國。
他以及和他一同回國的同事，知道回國創業的風險，他們空著手登上了回到祖國的航班。
尹志堯在矽谷業打拼多年，個人在半導體行業擁有86項美國專利和200多項各國專利，被譽為“矽谷最有成就的華人之一”。
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等離子體刻蝕機是晶片製造僅次於光刻機的最重要的微觀加工核心裝置，加工精度在納米級，相當於在頭髮絲幾千分之一的尺度上，蓋幾十層的高樓，修高速公路，搭立交橋。多年來，等離子刻蝕機一直被應用材料、泛林和東京電子壟斷。
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沒有刻蝕機就無法制造晶片，造不出可以滿足中國科技發展需求的“中國芯”，猶如一道枷鎖，嚴重束縛了中國科技發展的步伐。
直到2004年，尹志堯回國創辦中微半導體，這一格局才被打破。
2007年，回國僅僅三年的中微團隊研發出了第一代介質刻蝕機，在業內首次採用可單臺獨立操作的雙反應臺，效率比國外同類產品高出30%以上。
在中國的土地上，第一次能夠生產這樣高階的半導體裝置。
目前，尹志堯的團隊已開發出生產7nm到5納米器件的裝置，已經與世界最前沿技術比肩。
“在米粒上刻字的微雕技藝上，一般能刻200多個字已經是極限，而我們的等離子刻蝕機在晶片上的加工工藝，相當於可以在米粒上刻1億個字到10億個字的水平。”尹志堯這樣形容。
被點燃的愛國情懷
年收入百萬美元以上，國外生活優越，成績斐然，為何要在花甲之年拋家舍業毅然回國呢？
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這裡必須要提到一個人，江上舟。
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他是尹志堯北京四中的校友，時任上海市經委主任，當然，他還有另一個身份，上海市晶片產業的“旗手”。
江上舟曾鼓動張汝京等一大批矽谷華人回國創業。
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一次國際半導體裝置展上，他與尹志堯不期而遇。他問尹志堯：“看來刻蝕機比原子彈還複雜，我們能不能自己把它造出來？”
面對校友的邀請，尹志堯並非沒有猶豫，他已年近6旬，在大型跨國公司擔任高職，國外的生活也早已習慣。
見尹志堯猶豫，江上舟又說：“我是個癌症病人，只剩下半條命，哪怕豁出命去，也要為國家造出刻蝕機。我們一起幹吧！
就是這句話，喚醒了尹志堯內心最深處的愛國情愫。祖孫四代的報國情懷被啟用，並得到了傳承。
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“給外國人做了這麼多年嫁衣，是時候給祖國和人民做點貢獻了。”
2004年，尹志堯帶著15人專業團隊飛抵上海，震驚了矽谷的同行。到現在，中微已吸收了160多位，十個國家的精英，佔公司人員的四分之一。中微是一個國際化的公司。
累死也不回頭
創業總是伴隨著艱難，暮年創業更是如此。廉頗雖還能飯，怎奈困難不容片歇。
半導體是一個科技密度很高的行業，也是一個前期投入很大，簡直是“燒錢”的行業。回國創業的尹志堯首先需要解決兩個問題：錢和技術。
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在美國的應用材料公司，每年要花十幾億美元開發產品。但中微在上海啟動時，政府資助的5000萬元啟動資金和團隊自籌的150萬美金，很快就被燒光。
為了籌資，他跑遍所有可能注資的機構和企業，卻沒能拿回一分錢。當時國內的投資機構，對這種扔進去幾十個億可能連個響都聽不到的行業，並不感興趣。
無奈之下，他只好求助矽谷。訊息傳出，數十家風投機構前來找尹志堯。願意投入的資本比需要的多出三倍。再後來的十多年，國內的基金和投資商逐漸地瞭解了這一行業，也對此投資支援中微的發展。有心人，天不負。很快上海創投和國開金融大力投入，靠著這些錢，尹志堯撐過了最難的階段。三年後，中微的刻蝕機開始進入國際一流的晶片生產線。
錢的問題解決了，但技術又是另一個難關。
在美國高科技行業工作多年的尹志堯對專利保護和智慧財產權並不陌生，且在國外就經歷過這方面的官司。所以，回國創業之初就已經未雨綢繆，建立了非常嚴格的制度，絕對不容許從美國回來的人員帶回任何技術資料，對國外對手的3000多個專利進行了充分的研究，在設計開發裝置產品時，確保有自主的創新性，而且對可能發生的智慧財產權糾紛逐項進行了充分的準備，防止被國際對手“突然襲擊”。
剛回國時，尹志堯和他的團隊擠在上海市牛頓路一棟樓裡，沒日沒夜地研究，三載寒暑才有所成。
果然，就在中微推出自己的產品後不久，尹志堯就被前東家應用材料推上了美國聯邦法院的被告席。應用材料認為，一定是從應材出來到中微的人盜用了公司的技術，畢竟他們熟悉應材的技術，指控似乎有它的邏輯。但尹志堯卻絲毫不慌張。中微聘用了美國一流的律師，用兩年半的時間和2500萬美元的律師費，徹查了600萬件內部檔案，證明了自己的清白，最終和應材和解。
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與應用材料的官司剛剛開始，前東家泛林公司也來湊熱鬧，在中國臺灣起訴中微侵權。時機選得也很巧，就在中微裝置剛要進駐臺灣某大廠前。
尹志堯和所帶領的中微並沒有退縮，而是反訴了對手的專利有眾多的前置專利，完全是無效的。很快泛林的專利被否定，也敗興而歸。
尹志堯回國的目的就是為解下套在中國脖子上的枷鎖。如今，已經古稀之年的尹志堯仍然為了國家奮戰在科研一線。剛回國時，有一次坐計程車，司機對他說：“您看起來只有38歲！”尹志堯一聽，爽朗地笑道：“太好了，以後自己就是38歲的人。”
其實，尹志堯何嘗不懂歲月不饒人的道理，但他同時也深知時間不等人的現實。
即使他等得起，但中國等不起！所以他說，有些路一旦選擇，就不容回頭，那怕累死在路上。
經過中微團隊十四年的努力，中微已成為我國半導體高階裝置的領軍企業，國際半導體產業的一顆新星。美國商業部在2015年宣佈“由於在已有一家中國的公司做出來和美國相當數量和同等質量的刻蝕機”所以去掉了對中國的出口控制。在今年美國半導體產業著名的市場分析公司VLSI Research 在對全球半導體裝置公司客戶滿意度的評比中，中微被評為第三名，僅次於荷蘭的ASML 光刻機公司和一個美國公司。
“外國人拿來掐我們脖子，我們能造出來嗎？”當年，正是江上舟的一句話，撩起了尹志堯創業的初心。
他在用他的餘生，回答著江上舟的提問。