ASML供應商突遭火災，明年初的EUV光刻機交貨將延期

最近中科院研發成功紫外超分辨光刻機的訊息刷屏了， 使用365nm波長就能實現 單次曝光最高線寬分辨力達到22nm，這個技術水平在光刻機中是很了不起的，做到了SP 表面等離子體超衍射光刻機的極致，而且價格只有1000-2000萬元，不過中科院的SP光刻機並不能取代ASML的光刻機，二者的用途並不一樣，晶圓廠製造半導體晶片依然離不開ASML的光刻機。今天台積電、三星等公司要心驚一下了，因為ASML光刻機交貨遇到問題了，ASML元件供應商Prodrive突遭大火，導致部分生產線及庫存被毀，將影響2019年初ASML光刻機的交付日期，不過今年內的ASML光刻機交付不受影響。

來自 ofollow,noindex">路透社 的訊息稱，ASML週一宣佈其供應商Prodrive上週六遭遇火災，摧毀了Prodrive公司部分生產線及庫存，ASML公司正在尋找其他供應來源，並幫助Prodrive儘快重啟生產。ASML執行長兼總裁Peter Wennink在一份宣告中表示：“我們希望Prodrive的管理層和員工在恢復生產過程中一切順利，並儘可能地為他們提供支援。”

供應商遭遇火災導致產能及庫存受損，這對ASML的光刻機交付也會產生影響，ASML公司表示今年內的光刻機交付不會有任何變化，需要幾周時間來評估這次危機對他們業務的整體影響。隨後ASML更新的宣告中強調雖然2018年的光刻機訂單交付沒問題，但是2019年初的ASML光刻機會延期交付，但延期多久上尚無訊息。

根據ASML公司早前財報中的訊息，Q3季度ASML出貨了5臺EUV光刻機，上個季度出貨7臺EUV光刻機，預計Q4季度出貨6臺EUV光刻機，全年出貨的數量將達到18臺，而2019年EUV光刻機預計出貨數量達到30臺。

ASML的EUV光刻機大客戶除了三星、臺積電及英特爾之外，國內的中芯國際SMIC今年也訂購了一臺EUV光刻機，預計會在明年初交付，不過中芯國際訂購的EUV光刻機主要用於技術研發，短時間內並沒有量產EUV工藝的需求，延期交付對中芯國際的影響並不大。

相比較而言，2019年初延期交付的EUV光刻機對臺積電、三星的影響更大，不過這也取決於ASML受到Prodrive火災的影響有多大，目前具體的災害損失還沒有結果。